Source: https://tendernation.io/opportunities/01a140a4-627f-7204-b644-dad2bef53c5e/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dun-equipement-hy

closed FR

# Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement hybride de profilométrie automatique de type « White Light Interferometry » (WLI)

[CEA Grenoble](https://tendernation.io/buyers/cea-grenoble)

Estimated value

Not stated

Published

1 Dec 2025

Deadline

Closed

5 Jan 2026

## About this tender

Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition pour sa salle blanche d’un profilomètre automatique hybride pour mesurer une large gamme de hauteur de marches et de rugosités de surface sur des dispositifs manufacturés au CEA-Leti. L’équipement intègrera la technique d’Interférométrie à Lumière blanche sur Champ complet (Full-field White Light Interferometry - WLI) afin de mesurer des larges surfaces (quelques cm²) combinée à un Microscope à Force Atomique (AFM) pour mesurer des zones de quelques µm² avec une plus haute résolution. Les deux modules de mesure (WLI et AFM) doivent pouvoir être utilisées séparément ou conjointement grâce à un software. L’équipement doit pouvoir effectuer des mesures complètement automatisées sur des wafers 300 mm, tout en ayant la capacité à charger des wafers de diamètres inférieurs et des échantillons manuellement pour la calibration ou les mesures SPC. Cet équipement travaillera dans un environnement salle blanche de classe ISO 4. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Option avec chiffrage obligatoire : Option 1 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1 / - Option avec chiffrage facultative : Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique / Option 3 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée / Option 4 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire

Read full description

## CPV classification

Microelectronic machinery and apparatus

Source

Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 794714-2025

[View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/794714-2025)

Never miss a tender like this again

Get AI summaries, deadline alerts and a bid pipeline for tenders matched to your business. Free to start.

[Track tenders free](https://tendernation.io/register)

[Buyer profile CEA Grenoble: past awards and live tenders](https://tendernation.io/buyers/cea-grenoble) [Sector More Electrical equipment & lighting tenders](https://tendernation.io/sectors/electrical-equipment-lighting)

## More tenders like this

[Electronic equipment – Accord-cadre pour la fabrication de centrales domotiques et la fourniture de périphériques de chauffage. · EDF SA · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6544-712a-b0bc-bbc66ea2ca17/france-electronic-equipment-accord-cadre-pour-la-fabrication-de-centrales-do) [Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – 10043090 – offenes verfahren oberhalb des eu-schwellenwertes ZUM abschluss einer rahmenvereinbarung ÜBER DIE lieferung UND installation VON hochspannungsgeräten FÜR DIE primärumspannwerke DER edyna 10043090 – procedura aperta sopra la soglia europea PER la stipula DI UN accordo quadro relativo ALLA fornitura CON POSA DI apparecchiature at PER cabine primarie edyna · Edyna SRL · 41 days left · 30 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-94f1-717a-9dd8-7042345d676f/italy-electronic-electromechanical-and-electrotechnical-supplies-10043090) [Electrical parts of machinery or apparatus – Mažųjų autobusų "Mercedes Benz Sprinter" elektros atsarginės dalys · UAB "Kauno autobusai" (PV) · 38 days left · 27 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6812-7037-8c96-7773bbc7c828/lithuania-electrical-parts-of-machinery-or-apparatus-mazuju-autobusu-merced) [Electrical equipment and apparatus – Fourniture de matériels électriques · Thionville Fensch Agglomération · 28 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-b078-7155-afab-fd9c6e3d1ff1/france-electrical-equipment-and-apparatus-fourniture-de-materiels-electrique) [Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’une unité de stockage de plaques nues de 300 mm · Cea/Grenoble · 31 days left · 19 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-9416-7177-b4e3-65e734181c09/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dune-unite-de-sto) [Linear accelerators – Linearbeschleuniger inkl. Vollwartungsvertrag für die ersten 5 Jahre · Universitätsklinikum Aachen AöR · 9 days left · 29 Oct 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-a21e-733d-8d49-c10f3ee8cc9d/germany-linear-accelerators-linearbeschleuniger-inkl-vollwartungsvertrag-fu)
