Source: https://tendernation.io/opportunities/01a14099-a9e1-729a-8b7b-f5d69caac682/germany-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-drie-an closed DE open procedure # Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – DRIE-Anlage [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://tendernation.io/buyers/deutsches-zentrum-fur-luft-und-raumfahrt-ev-dlr) Estimated value Not stated Published 29 Jan 2026 Deadline Closed 27 Feb 2026 ## Who can bid - Open procedure Anyone can submit a full tender; there is no shortlisting stage. ## About this tender Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. ## CPV classification Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) Source Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 64442-2026 [View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/64442-2026) Never miss a tender like this again Get AI summaries, deadline alerts and a bid pipeline for tenders matched to your business. Free to start. [Track tenders free](https://tendernation.io/register) [Buyer profile Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR): past awards and live tenders](https://tendernation.io/buyers/deutsches-zentrum-fur-luft-und-raumfahrt-ev-dlr) [Sector More Laboratory & precision equipment tenders](https://tendernation.io/sectors/laboratory-precision-equipment) ## More tenders like this [Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Vodíkový polygon CEETe H2 / CEETe H2 Hydrogen Polygon · Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava · 18 days left · 6 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-14ee-7238-941c-57e426068058/czechia-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-vodikov) [Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Supply, Delivery, Installation, Testing, Commissioning and Training for 3 Automatic Asphalt Extraction Devices, including all necessary accessories required for complete and fully operational systems · Public Works Department · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-1c2c-7367-bb86-fdb6f5219ed7/cyprus-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-supply) [Parking meters – Parkautomaten · Landeshauptstadt Stuttgart, Haupt- und Personalamt, Abt. Allgemeiner Service, Zentraler Einkauf · 32 days left · 20 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-1396-70d0-82b5-dd09b1916cf7/germany-parking-meters-parkautomaten) [Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Dostawa systemu obrazowania fluorescencyjnego na rzecz Instytutu Agrofizyki im. Bohdana Dobrzańskiego PAN w Lublinie · Instytut Agrofizyki IM.BOHDANA Dobrzańskiego Polskiej Akademii Nauk · 32 days left · 20 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-ceff-70be-b876-1f526e8d1cf5/poland-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-dostawa) [Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Sprzedaż wraz z dostarczeniem sondy wieloparametrowej z elektrodami oraz pompy próżniowej · Uniwersytet Rzeszowski · 30 days left · 18 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-1441-70f4-a723-f4e57a503570/poland-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-sprzedaz) [Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – X-ray CT system for the analysis of rock and soil samples · ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services · 37 days left · 25 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a15183-1c5a-739b-bb20-024917276057/switzerland-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-x-r)