Source: https://tendernation.io/opportunities/01a14096-2c73-701a-92a7-1f0ea696d8f6/france-electromechanical-equipment-equipement-de-300mm-de-gravure-selective closed FR # Electromechanical equipment – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective\_SiSiGe\_etching tool [Commissariat A L'energie Atomique et Aux Energies Alternatives](https://tendernation.io/buyers/commissariat-a-lenergie-atomique-et-aux-energies-alternatives) Estimated value Not stated Published 16 Feb 2026 Deadline Closed 18 Mar 2026 ## About this tender Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO) - Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP) - Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1 Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) ## CPV classification Electromechanical equipment Microelectronic machinery and apparatus Source Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 108390-2026 [View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/108390-2026) Never miss a tender like this again Get AI summaries, deadline alerts and a bid pipeline for tenders matched to your business. Free to start. [Track tenders free](https://tendernation.io/register) [Buyer profile Commissariat A L'energie Atomique et Aux Energies Alternatives: past awards and live tenders](https://tendernation.io/buyers/commissariat-a-lenergie-atomique-et-aux-energies-alternatives) [Sector More Electrical equipment & lighting tenders](https://tendernation.io/sectors/electrical-equipment-lighting) ## More tenders like this [Electronic equipment – Accord-cadre pour la fabrication de centrales domotiques et la fourniture de périphériques de chauffage. · EDF SA · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6544-712a-b0bc-bbc66ea2ca17/france-electronic-equipment-accord-cadre-pour-la-fabrication-de-centrales-do) [Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – 10043090 – offenes verfahren oberhalb des eu-schwellenwertes ZUM abschluss einer rahmenvereinbarung ÜBER DIE lieferung UND installation VON hochspannungsgeräten FÜR DIE primärumspannwerke DER edyna 10043090 – procedura aperta sopra la soglia europea PER la stipula DI UN accordo quadro relativo ALLA fornitura CON POSA DI apparecchiature at PER cabine primarie edyna · Edyna SRL · 42 days left · 30 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-94f1-717a-9dd8-7042345d676f/italy-electronic-electromechanical-and-electrotechnical-supplies-10043090) [Electrical parts of machinery or apparatus – Mažųjų autobusų "Mercedes Benz Sprinter" elektros atsarginės dalys · UAB "Kauno autobusai" (PV) · 38 days left · 27 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6812-7037-8c96-7773bbc7c828/lithuania-electrical-parts-of-machinery-or-apparatus-mazuju-autobusu-merced) [Electrical equipment and apparatus – Fourniture de matériels électriques · Thionville Fensch Agglomération · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-b078-7155-afab-fd9c6e3d1ff1/france-electrical-equipment-and-apparatus-fourniture-de-materiels-electrique) [Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’une unité de stockage de plaques nues de 300 mm · Cea/Grenoble · 31 days left · 19 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-9416-7177-b4e3-65e734181c09/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dune-unite-de-sto) [Linear accelerators – Linearbeschleuniger inkl. Vollwartungsvertrag für die ersten 5 Jahre · Universitätsklinikum Aachen AöR · 10 days left · 29 Oct 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-a21e-733d-8d49-c10f3ee8cc9d/germany-linear-accelerators-linearbeschleuniger-inkl-vollwartungsvertrag-fu)