Source: https://tendernation.io/opportunities/01a14082-5fc5-7161-81dc-bb923a08db3b/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dun-equipement-de closed FR # Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique [CEA Grenoble](https://tendernation.io/buyers/cea-grenoble) Estimated value Not stated Published 13 May 2026 Deadline Closed 26 May 2026 ## About this tender Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020). Read full description ## CPV classification Microelectronic machinery and apparatus Source Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 327172-2026 [View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/327172-2026) Never miss a tender like this again Get AI summaries, deadline alerts and a bid pipeline for tenders matched to your business. Free to start. [Track tenders free](https://tendernation.io/register) [Buyer profile CEA Grenoble: past awards and live tenders](https://tendernation.io/buyers/cea-grenoble) [Sector More Electrical equipment & lighting tenders](https://tendernation.io/sectors/electrical-equipment-lighting) ## More tenders like this [Electronic equipment – Accord-cadre pour la fabrication de centrales domotiques et la fourniture de périphériques de chauffage. · EDF SA · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6544-712a-b0bc-bbc66ea2ca17/france-electronic-equipment-accord-cadre-pour-la-fabrication-de-centrales-do) [Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – 10043090 – offenes verfahren oberhalb des eu-schwellenwertes ZUM abschluss einer rahmenvereinbarung ÜBER DIE lieferung UND installation VON hochspannungsgeräten FÜR DIE primärumspannwerke DER edyna 10043090 – procedura aperta sopra la soglia europea PER la stipula DI UN accordo quadro relativo ALLA fornitura CON POSA DI apparecchiature at PER cabine primarie edyna · Edyna SRL · 41 days left · 30 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-94f1-717a-9dd8-7042345d676f/italy-electronic-electromechanical-and-electrotechnical-supplies-10043090) [Electrical parts of machinery or apparatus – Mažųjų autobusų "Mercedes Benz Sprinter" elektros atsarginės dalys · UAB "Kauno autobusai" (PV) · 38 days left · 27 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6812-7037-8c96-7773bbc7c828/lithuania-electrical-parts-of-machinery-or-apparatus-mazuju-autobusu-merced) [Electrical equipment and apparatus – Fourniture de matériels électriques · Thionville Fensch Agglomération · 28 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-b078-7155-afab-fd9c6e3d1ff1/france-electrical-equipment-and-apparatus-fourniture-de-materiels-electrique) [Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’une unité de stockage de plaques nues de 300 mm · Cea/Grenoble · 31 days left · 19 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-9416-7177-b4e3-65e734181c09/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dune-unite-de-sto) [Linear accelerators – Linearbeschleuniger inkl. Vollwartungsvertrag für die ersten 5 Jahre · Universitätsklinikum Aachen AöR · 9 days left · 29 Oct 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-a21e-733d-8d49-c10f3ee8cc9d/germany-linear-accelerators-linearbeschleuniger-inkl-vollwartungsvertrag-fu)