Source: https://tendernation.io/opportunities/01a1407e-8f75-7110-ae92-d7128e901d5b/france-electronic-electromechanical-and-electrotechnical-supplies-fournitur

closed FR

# Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

[Cea/Grenoble](https://tendernation.io/buyers/ceagrenoble)

Estimated value

€1

Published

29 May 2026

Deadline

Closed

1 Jul 2026

## Who can bid

- Small contract value

    Valued under £135,018 including VAT, the lowest Procurement Act threshold for goods and services.

## About this tender

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).

## CPV classification

Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies Microelectronic machinery and apparatus

Source

Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 368559-2026

[View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/368559-2026)

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