Source: https://tendernation.io/opportunities/01a14076-685e-706f-974e-8601bf5fdbf3/germany-laboratory-optical-and-precision-equipments-excl-glasses-laserli

closed DE open procedure

# Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Laserlithographie

[Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://tendernation.io/buyers/deutsches-zentrum-fur-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)

Estimated value

Not stated

Published

3 Jul 2026

Deadline

Closed

3 Aug 2026

## Who can bid

- Open procedure

    Anyone can submit a full tender; there is no shortlisting stage.

## About this tender

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

## CPV classification

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Source

Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 458627-2026

[View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/458627-2026)

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