Source: https://tendernation.io/opportunities/01a1406b-09c0-726d-b201-af6bb0057a9a/germany-electromechanical-equipment-reaktives-ionenatzen closed DE open procedure # Electromechanical equipment – Reaktives Ionenätzen [Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg](https://tendernation.io/buyers/freistaat-bayern-vertreten-durch-die-universitat-erlangen-nurnberg) Estimated value Not stated Published 27 Aug 2026 Deadline Closed 11 Sept 2026 ## Who can bid - Open procedure Anyone can submit a full tender; there is no shortlisting stage. ## About this tender Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert. Read full description ## CPV classification Electromechanical equipment Dry-etching equipment Source Tenders Electronic Daily (EU) · Notice 590353-2026 [View official notice](https://ted.europa.eu/en/notice/590353-2026) Never miss a tender like this again Get AI summaries, deadline alerts and a bid pipeline for tenders matched to your business. Free to start. [Track tenders free](https://tendernation.io/register) [Buyer profile Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg: past awards and live tenders](https://tendernation.io/buyers/freistaat-bayern-vertreten-durch-die-universitat-erlangen-nurnberg) [Sector More Electrical equipment & lighting tenders](https://tendernation.io/sectors/electrical-equipment-lighting) ## More tenders like this [Electronic equipment – Accord-cadre pour la fabrication de centrales domotiques et la fourniture de périphériques de chauffage. · EDF SA · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6544-712a-b0bc-bbc66ea2ca17/france-electronic-equipment-accord-cadre-pour-la-fabrication-de-centrales-do) [Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – 10043090 – offenes verfahren oberhalb des eu-schwellenwertes ZUM abschluss einer rahmenvereinbarung ÜBER DIE lieferung UND installation VON hochspannungsgeräten FÜR DIE primärumspannwerke DER edyna 10043090 – procedura aperta sopra la soglia europea PER la stipula DI UN accordo quadro relativo ALLA fornitura CON POSA DI apparecchiature at PER cabine primarie edyna · Edyna SRL · 42 days left · 30 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-94f1-717a-9dd8-7042345d676f/italy-electronic-electromechanical-and-electrotechnical-supplies-10043090) [Electrical parts of machinery or apparatus – Mažųjų autobusų "Mercedes Benz Sprinter" elektros atsarginės dalys · UAB "Kauno autobusai" (PV) · 38 days left · 27 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-6812-7037-8c96-7773bbc7c828/lithuania-electrical-parts-of-machinery-or-apparatus-mazuju-autobusu-merced) [Electrical equipment and apparatus – Fourniture de matériels électriques · Thionville Fensch Agglomération · 29 days left · 17 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-b078-7155-afab-fd9c6e3d1ff1/france-electrical-equipment-and-apparatus-fourniture-de-materiels-electrique) [Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’une unité de stockage de plaques nues de 300 mm · Cea/Grenoble · 31 days left · 19 Nov 2026](https://tendernation.io/opportunities/01a156a9-9416-7177-b4e3-65e734181c09/france-microelectronic-machinery-and-apparatus-fourniture-dune-unite-de-sto) [Linear accelerators – Linearbeschleuniger inkl. 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